国内首条高端光子芯片中试线启用

  据上海交大无锡光子芯片研究院音讯，9月25日，在2024集成电路（无锡）立异开展大会上，上海交通大学无锡光子芯片研究院建造的国内首条光子芯片中试线启用，这标志着光子芯片正式步入工业化快车道，将打破核算范式约束，为大规划智算带来新的幻想空间，一个归于光子的光辉年代行将敞开。

  上海交通大学无锡光子芯片研究院（CHIPX）于2021年12月份在无锡市与上海交通大学深化全面协作的框架下正式树立，研究院由无锡市滨湖区人民政府、上海交通大学、蠡园经济开发区三方一起参加建造。

  CHIPX率先在无锡布局国内首条光子芯片中试线，以高端光子芯片的研制为中心，聚集新一代信息技能和工业化使用，推进量子核算机、通用光子处理器、三维光互连芯片和高精密飞秒激光直写机等革新性技能在无锡市落地转化。并环绕光子芯片中试线渠道的基础设备和研制支撑，建造中心技能和工业形状聚集的“光子芯谷”，打造以光子芯片底层技能为驱动，面向量子核算、人工智能、光通信、光互连、激光雷达、成像与显现、智能传感的新一代光子科技工业集群。

  光子芯片，是新一代信息技能的中心，能满意新一轮科技革新中人工智能、物联网、云核算、生物医药等范畴对传输、核算、存储、显现的技能需求，已成为经济稳步的增加新动能，全球竞速的工业高地。

  但是一直以来，国内光子芯片职业面对中试渠道缺位、工艺技能壁垒高、良品率验证低、产能转化缺乏、国外渠道流片周期长等共性窘境，严峻限制了立异效果转化落地的“黄金期”。为此，上海交大无锡光子芯片研究院率先在无锡布局国内首条高端光子芯片中试线。

  据悉，该中试渠道总面积17000平方米，集科研、出产、服务于一体，配套设备完善且装备超100台世界尖端CMOS工艺设备，覆盖了薄膜铌酸锂光子芯片从光刻、薄膜堆积、刻蚀、湿法、切开、量测到封装的全闭环工艺。渠道还统筹硅、氮化硅等其他资料系统，树立N个特征工艺渠道，构成抢先的“1+N”先进光子器材立异渠道，结合“研制中试+技能服务”运营形式，不只可为高校、科研院所、立异公司能够供给全流程技能服务，还能够为光子工业孵化项目，与工业基金高效联动，打通从产品研制到市场化的完好链条，加快科技效果的商业化转化。

  2021年，无锡滨湖引入上海交通大学金贤敏团队，树立上海交通大学无锡光子芯片研究院；2022年12月中试线月第一批设备进场，通过紧锣密鼓地设备调试，直至9月正式启用。

  据悉，中试线正式启用后，估计年产能达10000片晶圆，2025年第一季度将正式对外发布PDK，供给对外流片服务。

  此外，上海交大无锡光子芯片研究院指出，下阶段，研究院将根据6/8寸薄膜铌酸锂晶圆，以薄膜铌酸锂调制器为中心，霸占薄膜铌酸锂光子芯片工业化面对的工程技能难题，开发晶圆级芯片量产工艺，完成薄膜铌酸锂光子芯片规划量产，满意人工智能开展等大算力需求。一起，研究院构建“渠道+孵化+基金”三位一体战略形式，根据光子芯片底层技能，以Foundry形式驱动工业化使用，环绕芯、光、智、算等新一代信息技能进行科技效果转化及孵投一体的创业孵化，打造“光子芯谷”，探究硬科技立异孵化的新范式，助力滨湖甚至无锡构成集群化、规划化开展的世界级光子芯谷立异生态系统。

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